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德國(guó)PI P-313 PicoCubeXY（Z）壓電掃描儀 運(yùn)動(dòng)和定位 主動(dòng)軸 X、Y、Z X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米 Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

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PI P-734 XY壓電掃描儀-北京漢達(dá)森 電容式傳感器可實(shí)現(xiàn)小于0.4納米的分辨率 PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命